Soluções em Vácuo
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MFC - Controladores de Fluxo de Massa

A HORIBA STEC é reconhecida como líder em tecnologia de fluxo de massa,. Com extensa pesquisa e desenvolvimento, trouxe o primeiro controlador de fluxo de massa digital e mais recentemente, os primeiros controladores “wide range” e insensíveis à pressão do mercado.

Modelos para altas temperaturas também estão disponíveis e podem operar até a 120 °C. Os controladores de fluxo mássico podem controlar fluxos de até 200 slm (litros/minuto) com diferentes interfaces incluindo: analógica, RS 422A, RS-485 e DeviceNet.

Como os dispositivos semicondutores estão ficando mais rápidos e o nível de integração aumenta, a alta precisão é necessária na construção destes e existe hoje, uma grande variedade de líquidos usados na fabricação de semicondutores, displays de LCD e painéis solares.

A HORIBA STEC é líder mundial nesta área oferecendo, uma linha completa de controladores de fluxo para líquidos, vaporizadores e sistemas de controle. Diferentes metodologias de vaporização estão disponíveis para diferentes precursores, estes incluindo aquecimento, injeção direta e mistura para garantir uma entrega de vapor eficiente e estável, para o ponto de uso.

Produtos em destaque:

  • Controladores de fluxo de massa alta Performance
  • Sistemas de Detecção de Partículas
  • Monitores da concentração da solução química online
  • Vaporizadores de injeção direta
  • Elipsometria espectroscópica automática

HORIBA STEC tem usado sua liderança mundial em tecnologia de fluxo de massa para desenvolver uma grande gama de controladores de pressão. Os controladores automáticos de pressão de alta precisão, podem controlar a pressão por “upstream” ou “downstream“.

As câmaras de vácuo podem ser controladas por um controlador na exaustão, onde regula o fluxo que vai para o sistema de bombeamento ou por controladores que regulam a entrada de gás na câmara, mantendo sempre o setpoint escolhido pelo operador.